전자재료

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Cavity-SOI® 웨이퍼
C-SOI®는 핸들 웨이퍼 또는 산화물 층에 캐비티 구조물이 내장된  SOI 웨이퍼 제품입니다. 패터닝을 식각한 뒤에 접합되는 C-SOI®는 표준 BSOI 웨이퍼가 허용하지 않는 복잡하고 보다 더 개발된 구조를 가능하게 합니다. C-SOI®는 극도로 얇은 막이 구현 가능하며 다양한 설계와 공정 가능성을 넓혀줍니다.


적용분야
• 압력 센서
• 실리콘 마이크로폰 및 유체 부품 (두꺼운 레이어의 경우 관성 센서 제조에 적합)
• IC와 MEMS 프로세스 융합
• 직접회로 뒷면 패킹과 밀폐가 가능


이점
• 기기 정밀도 저하 없이 기기 크기와 비용 절감
• 더욱 간소화된 장치 제조 프로세스
• 전기적 특성 최적화(예: 기생 캐패시턴스의 최소화)
• 방출된 구조물과 기판 사이의 간격을 조정하는 유연성

• 잘 정의된 수평 치수

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Industries
Semiconductor 5G MEMS Automotive and Transportation Aerospace Data and Telecom