전자재료

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BSOI(Bonded Silicon on Insulator) 웨이퍼
당사의 BSOI 웨이퍼는 일반적으로는 진보된 압력 센서, 미세유체 부품, MEMS, 유동 센서, 액추에이터, 3축 가속도계, 자이로스코프 및 실리콘 마이크로폰 등에 사용됩니다. 그러나 RF 부품, 게이트 드라이버(IGBT/파워 MOSFET), 스마트 전원/고전압 BCD 및 수평 HV 장치와 같은 고전압 어플리케이션 제조업체를 위한 새로운 유형의 솔루션 또한 제공하고 있습니다. 

앞서 서술한 내용과 같이 자체적으로 매개변수를 맞추고 수정함으로써 첨단 기기 개발과 아이디어 구현에 있어 고객사의 잠재력을 최대로 발휘할 수 있도록 지원합니다.


BSOI 웨이퍼의 이점 (주로 DRIE 에칭 적용)
• 수직 측벽 옵션
• 높은 식각율, 효과적인 식각 정지
• 예측 가능하고 일관된 대량 에칭 동작
• 뛰어난 정확성과 균일성 식각 구조물​
Industries
Semiconductor 5G MEMS Automotive and Transportation Aerospace