Growth Methods |
Cz, MCz |
Diameter |
150, 200mm |
Crystal Orientation |
<100>, <110>, <111>, off-oriented |
N Type Dopants |
Arsenic, Phosphorus, Red Phosphorus |
P Type Dopants |
Boron |
Resistivity |
<1mOhm-cm up to over 5,000 Ohm-cm |
Backside Treatment |
Etched, Polyback, LTO, Polished |
직경 200mm의 편면 경면 웨이퍼(SSP)는 아무리 까다로운 공정 라인이라도 호환이 가능하며 두께와 평탄성 모두 뛰어난 제품입니다.